廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國(guó)萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復(fù)合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對(duì)廣州各地均可收件。
廣州潽拓光電——BPG400 /BPG402 英??礗NFICON
INFICON皮拉尼復(fù)合真空計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):BPG400
I
半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量
工業(yè)鍍膜
一般真空測(cè)量和控制,從低至超高真空范圍
優(yōu)點(diǎn)
極寬的測(cè)量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)
很好的重復(fù)性,壓強(qiáng)范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀
雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲
可選圖形顯示和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)
容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性
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廣州潽拓光電——INFICON皮拉尼電容式膜片真空計(jì)PCG550 3PC1-001-0000
INFICON皮拉尼電容式膜片真空計(jì)(PCG55x)集INFICON皮拉尼技術(shù)和陶瓷電容式膜片傳感器的優(yōu)勢(shì)于一體。
在10毫巴和大氣壓力之間的測(cè)量范圍內(nèi),電容式膜片技術(shù)不受氣體類(lèi)型限制,能夠提供高**度的壓力測(cè)量值。PCG55x型皮拉尼電容式膜片真空計(jì)功能豐富,提供多種配置,可滿足您的特定應(yīng)用要求。
益處在10毫巴以上壓力下不受氣體類(lèi)型限制–能夠安全排放任何氣體混合物在大氣壓力下具有高度的準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性–能夠進(jìn)行可靠的大氣壓力檢測(cè)快速大氣檢測(cè)功能–能夠消除等待時(shí)間并縮短過(guò)程周期靈活的安裝方向–提供自由的工具設(shè)計(jì)可配備鎢絲(PCG550)、鎳絲(PCG552)或全陶瓷涂層(PCG554)傳感器裝置用于高腐蝕性應(yīng)用易于更換的即插即用式傳感器元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)–確保高度再現(xiàn)性和低擁有成本便于集成的可選輸出信號(hào)可選大氣開(kāi)關(guān)、顯示屏和數(shù)字接口典型應(yīng)用加載互鎖控制前級(jí)真空壓力測(cè)量真空系統(tǒng)中的安全電路中真空和低真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
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廣州潽拓光電——真空計(jì) BPG400 and PCG 402 的工作原理
1、真空計(jì) BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空計(jì)2、皮拉尼(Pirani)真空計(jì)原理低溫的氣體分子碰撞高溫固體時(shí),會(huì)從固體奪取熱量。通過(guò)被氣體分子奪取的熱量來(lái)計(jì)算壓力的真空計(jì)被成為熱傳導(dǎo)真空計(jì)。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計(jì)包括Pirani真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。 原理
金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。通過(guò)電極給白金細(xì)線提供電流時(shí),白金細(xì)線會(huì)發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過(guò)固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會(huì)被奪走。單位時(shí)間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立
Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)
Q是單位時(shí)間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。 氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),Qg通過(guò)自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為
Qg = αΛπda(T-T0)p (2) T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長(zhǎng)度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下
Qs = Sκ(T-T0)/L (3) Qr = πdaσε(T4-T04) (4) (3)是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電極的長(zhǎng)度。(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為
I2R = Ap + I02R (5) A = αΛπda(T-T0) (6) I0是壓力為0的時(shí)候細(xì)線的電流, 是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù) 如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(guò)(5)式求得壓力P。